ASML؛ شرکت کوچک هلندی که به بزرگ‌ترین مونوپولی دنیای تراشه‌ تبدیل شد

اگر از شما بپرسند قلب اقتصاد دیجیتال دنیا کجا است، احتمالاً انگشت خود را به سمت سیلیکون ولی بگیرید که شرکت‌های مطرحی چون اپل، گوگل و فیسبوک در آنجا قرار دارند. یا شاید به اطراف سیاتل اشاره کنید که آمازون و مایکروسافت در آنجا مستقر هستند. به احتمال خیلی کم هم ممکن است از شنزن، هاب تکنولوژی چین یاد کنید. اما بعید می‌دانم کسی از شهر کوچک فلدهوفن در جنوب غربی هلند نام ببرد. بااین‌حال، اگر به این گوشه‌ی به‌ظاهر کسل‌کننده از دنیا نگاه دقیق‌تری بیندازید، متوجه خواهید شد قلب اقتصاد دیجیتال دنیا دقیقاً همین‌جا است؛ چراکه شرکت ASML، تنها تولید‌کننده‌ی دستگاه‌های EUV برای ساخت پیشرفته‌ترین تراشه‌ها در این شهر واقع است.

فناوری EUV گران‌قیمت‌ترین و دقیق‌ترین روش ساخت ریزتراشه‌های پیشرفته است که در مراکز داده، توسعه هوش مصنوعی و جدیدترین آیفون‌ها به کار می‌رود. در عین حال، به‌گفته‌ی پیتر ونیک، مدیرعامل ASML، این شرکت ۳۸ سال است که در حال کاهش قیمت تراشه‌ است و این کار را «تا چند دهه‌ی دیگر ادامه خواهد داد.»

اگر قبول داشته باشید که پاشنه‌ی دنیا روی تراشه می‌چرخد، آن‌وقت اصلی‌ترین رکن این صنعت چند تریلیون دلاری، شرکت ASML است که نظام سرمایه‌داری مدرن نمی‌تواند بدون آن زیاد دوام بیاورد؛ اما چه شد که این شرکت کوچک هلندی به چنین موقعیت بزرگی رسید؟

چرا شرکت ASML برای دنیا اینقدر مهم است؟

ساده‌ترین جواب این است که این شرکت ۳۸ ساله با بیش از ۳۱ هزار کارمند، تنها شرکت دنیا است که قادر به تولید دستگاه‌های بی‌نهایت پیچیده‌ی EUV است که برای ساخت پیشرفته‌ترین تراشه‌‌ها مورد نیاز است.

EUV مخفف «Extreme Ultraviolet» به معنی تابش فرابنفش فرین با طول موج فوق‌العاده کوتاهی از نور (۱۳٫۵ نانومتر) است که شرکت ASML آن را در مقادیر زیادی برای چاپ طرح‌های کوچک و پیچیده روی ریزتراشه‌ها تولید می‌کند. درواقع، هرچه طول‌ موج نور در فرایند لیتوگرافی کوتاهتر باشد، ترانزیستورهای بیشتری را می‌توان در هر قطعه از سیلیکون جای داد و هرچه ترانزیستورهای بیشتری در تراشه قرار بگیرند، آن تراشه قدرتمندتر و کارآمدتر خواهد بود. برای مثال، تراشه A15 آیفون ۱۳ که توسط TSMC و به کمک دستگاه لیتوگرافی EUV ساخته شده و بین تراشه‌های موبایل بهترین عملکرد را داشته، حاوی ۱۵ میلیارد ترانزیستور است.

منبع نور EUV از پلاسمای حاصل از قلع ذوب‌شده تأمین و سپس از آینه‌های منحصربه‌فردی که مسطح‌ترین آینه‌های جهان هستند، روی سطح ویفر سیلیکونی آغشته به مواد شیمیایی حساس به نور موسوم به «لاک نوری» بازتاب می‌شوند تا در‌ آنجا طرح‌های کوچک و دقیقی را چاپ کنند که تعیین می‌کند هر تراشه چه کاری انجام خواهد داد. این فرایند که باعث شکل‌گیری ترانزیستورها می‌شود، به لیتوگرافی معروف است و دستگاه‌هایی که فرایند لیتوگرافی را انجام می‌دهند، دستگاه‌ لیتوگرافی EUV نامیده می‌شوند.

البته تمام دستگاه‌های لیتوگرافی ساخت ASML از قابلیت‌های EUV بهره‌مند نیستند. EUV جدیدترین و گران‌قیمت‌ترین تکنولوژی این شرکت است که تازه سال ۲۰۱۰ به دست اولین مشتری‌اش، شرکت تایوانی TSMC رسید که درحال‌حاضر بیش از نیمی از دستگاه‌های EUV دنیا را دراختیار دارد. در بیشتر موارد، سازندگان تراشه از فرایند فرابنفش عمیق (DUV) استفاده می‌کنند که کم‌هزینه‌تر است و برای تولید تراشه‌هایی در اندازه‌های بزرگ‌تر به کار می‌رود. ASML در سال ۲۰۲۰، ۵٫۶ میلیارد دلار دستگاه DUV و ۴٫۴ میلیارد دلار دستگاه EUV به مشتریان خود فروخت.

اما چرا هیچ شرکت دیگری نتوانسته است در ساخت دستگاه‌های EUV به پای ASML برسد؟ جواب در دو کلمه خلاصه می‌شود: آینه‌ها و لیزرها.

ساخت این دو جز از دستگاه‌ EUV به‌حدی دشوار، پرهزینه و وقت‌گیر است که هر شرکت دیگری که بخواهد تازه الان به این حوزه وارد شود، فقط وقت و سرمایه‌‌ی خود را هدر داده است. آینه‌های به کار رفته در این دستگاه‌ها که توسط شرکت آلمانی زایس (Zeiss) با همکاری ASML ساخته می‌شوند، تخت‌ترین سازه‌هایی هستند که بشر تا‌به‌حال ساخته است. این آینه‌ها مهندسی شگفت‌انگیزی را به نمایش می‌گذارند و در مقایسه با آینه‌های معمولی، نسبتاً بازتابنده هستند؛ این موضوع از اهمیت بسیاری برخوردار است، چراکه تراشه‌سازان نمی‌خواهند فوتون‌ها پیش از آنکه پرتوهای نور با سطح ویفرها تماس پیدا کنند، از دست بروند.

اما دشوارترین قسمت ساخت دستگاه‌های EUV، منبع نور آن‌ها است که در گذر سال‌ها دستخوش تغییرات بزرگی شده است. در دهه‌‌های ۶۰ و ۷۰ میلادی، تراشه‌سازان از لامپ‌های معمولی استفاده می‌کردند که توانایی تابش پرانرژی فرابنفش را ندارند و به‌سختی می‌توان از آن‌‌ها توان یا فوتون کافی بازتاب کرد؛ اما منبع نور مورد استفاده در دستگاه‌های EUV از پلاسمایی با دمای ۲۲۲٬۲۰۴ درجه سانتی‌گراد تأمین می‌شود که فوتون‌هایی از نور فرابنفش فرین ساطع می‌کند که دقیق‌ترین نوع لیزر برای چاپ طرح روی ویفرهای سیلیکونی هستند. جالب است بدانید تکمیل این فرایند ۳۰ سال طول کشیده است.

به‌طور کلی، دستگاه‌های لیتوگرافی ASML از چندین ماژول متشکل از صدها هزار قطعه تشکیل شده‌اند که توسط ۸۰۰ تأمین‌کننده در کشورهای مختلف به دست این شرکت هلندی می‌رسند. هر ماژول در یکی از ۶۰ کارخانه ASML در سراسر جهان ساخته شده و سپس برای مونتاژ به شهر فلدهوفن ارسال می‌شود. پس از آزمایش هر دستگاه مونتاژ شده، این ماژول‌ها دوباره برای ارسال به مشتری از هم جدا می‌شوند. فرایند ارسال این قطعات نیز کار به‌شدت چالش‌برانگیزی است و تازه بعد از آن، باید به کارکنان آموزش داد چطور این قطعات را سرهم‌بندی و این دستگاه بی‌نهایت پیچیده را راه‌اندازی کنند. حمل و نقل این قطعات که مجموع وزنشان به ۱۸۰ تن می‌رسد، به ۲۰ کامیون و سه هواپیمای بوئینگ 747 نیاز دارد.

اینکه چرا شرکت ASML توانسته در عرصه‌ی ساخت دستگاه‌های EUV از دیگران جلو بیفتد نیز به دو دلیل مربوط می‌شود. اول اینکه این شرکت زمانی تصمیم گرفت پا در مسیر توسعه‌ی فناوری EUV بگذارد که آینده‌ی این تکنولوژی در هاله‌ای از ابهام قرار داشت و ریسک آن چنان بزرگ بود که هیچ شرکت دیگری جرئت ورود پیدا نکرد. دلیل دوم، زنجیره‌ی تأمین بزرگ و بسیار درهم گره خورده‌ی ASML است که بدون آن‌ها، این شرکت هیچ‌گاه نمی‌توانست به موقعیت پیشتاز کنونی‌اش دست پیدا کند.

درواقع، ASML حدود ۵ هزار تأمین‌کننده در سراسر دنیا دارد. لنزهای دستگاه‌ EUV را شرکت آلمانی کارل زایس تولید می‌کند. بازوهای رباتیکی که ویفرها را درون دستگاه قرار می‌دهند توسط شرکت هلندی VDL ساخته می‌شوند. منبع نور نیز از شرکت آمریکایی Cymer تأمین می‌شود که ASML آن را در سال ۲۰۱۳ تصاحب کرد. فعالیت ASML آنقدر اهمیت دارد که تراشه‌سازان مطرح دنیا چون اینتل، سامسونگ و TSMC نیز در طول سال‌ها هزینه‌ی تحقیق و توسعه تکنولوژی EUV را فراهم کرده‌اند.

داستان شکل‌گیری ASML

اول مه ۱۹۸۴، روزی که فریتس ون هوت به‌عنوان عضو جدید شرکت «لیتوگرافی مواد نیمه‌هادی پیشرفته» (ASML) سر کار حاضر شد، متوجه شد هیچ‌کس در جریان استخدام او قرار نگرفته است. این شرکت به‌تازگی با سرمایه‌گذاری مشترک فیلیپس و شرکت صنایع نیم‌رسانای هلندی به‌نام ASM International تأسیس شده بود. ون هوت که حالا مدیر ارشد استراتژی ASML است، درباره‌ی آن روز می‌گوید:‌ «همکارانم از من می‌پرسیدند که آیا داوطلبانه به این شرکت آمده‌ام یا اینکه فیلیپس من را اینجا فرستاده بود. آن روزها بسیاری از کارکنان ASML می‌‌خواستند از این شرکت جدا شده و جای دیگری مشغول به کار شوند.»

البته جای تعجب نیست؛ چراکه ۴۵ کارمند اول این شرکت در سالن درازی با سقفی که چکه می‌کرد، مستقر شده بودند و اکثر ۲۰۰ نفری که در عرض یک‌سال به پرسنل این شرکت اضافه شدند، در کانکس‌های موقتی کار می‌کردند. یوس بنشهوپ، مدیر ارشد فناوری ASML درباره‌ی دردسرهای آن‌روزها می‌گوید که اولین‌ محصولات این شرکت به‌محض عرضه، قدیمی شده بودند و شرکت به سختی می‌توانست مشتری پیدا کند. تنها دلیل سر پا ماندنش هم کمک‌های مالی دولت هلند، اتحادیه اروپا و فیلیپس بود که خودش نیز آن روزها با مشکلات مالی زیادی دست‌وپنجه نرم می‌کرد.

اولین تراشه‌ها در سال ۱۹۵۹، یعنی ۲۵ سال پیش از تأسیس ASML ساخته شدند و فرایند لیتوگرافی نوری که در همان سال از دل آزمایشگاه نظامی آمریکا متولد و ثبت اختراع شد، نقش مهمی در ساخت ‌آن‌ها ایفا کرد. ازآنجاکه این فرایند به نور مرتبط بود، شرکت‌هایی چون کانن و نیکون نیز تصمیم به ساخت دستگاه‌های لیتوگرافی گرفتند. شرکت هلندی فیلیپس نیز تراشه‌ساز بود و با توجه به خط تکنولوژی نوری خود، تصمیم گرفت وارد این رقابت شود. اما به گفته ون هوت، «اگر فیلیپس می‌خواست این دستگاه‌ها را به تراشه‌سازان دیگر بفروشد، آن‌ها بدون شک می‌گفتند چطور می‌توانم به تو که خودت تراشه‌سازی اعتماد کنم که دستگاه خوبی به من بفروشی؟» برای همین، فیلیپس به این نتیجه رسید که اگر می‌خواهد اعتماد تراشه‌سازان دیگر را برای خرید دستگاه‌های لیتوگرافی‌اش جلب کند، باید با راه‌اندازی شرکت دیگری به این حوزه وارد شود؛ این‌طور شد که شرکت ASML با سرمایه‌گذاری مشترک فیلیپس و ASM International تأسیس شد.

آن‌روزها، لیتوگرافی نوری به دقت امروزی نبود و به گفته‌ی کریستوف فوکته، معاون اجرایی EUV در شرکت ASML، این دستگا‌ه‌ها چیزی شبیه پروژکتور بودند و کوتاه‌ترین طول موج ساطع‌شده از پلاسمای جیوه‌ای آن‌ها ۴۳۶ نانومتر بود. دست‌کم ده شرکت دیگر، از جمله کانن و نیکون، در کنار ASML از این دستگاه‌ها می‌ساختند و برای شرکت نوپای هلندی، رقابت به‌شدت نفس‌گیر بود. به گفته ون هوت، «ما چیزی در مورد رقبا یا مشتریانمان نمی‌دانستیم. فیلیپس در اواخر دهه ۱۹۸۰ با آشفتگی بزرگی دست به گریبان بود و ما در آستانه ورشکستگی قرار داشتیم.»

تا سال ۱۹۸۸، ASML پنج دفتر در آمریکا و ۸۴ کارمند به همراه یک دفتر جدید در فلدهوون داشت که درنهایت به دفتر مرکزی این شرکت تبدیل شد؛ درحالی‌که برخلاف رقبا، از داشتن کارخانه‌ای برای تولید قطعات مورد نیاز دستگاه‌های لیتوگرافی محروم بود. درنهایت اما همین ناتوانی به نفع این شرکت تمام شد؛ چون باعث شد از همان روزهای اول برای تأمین قطعات موردنیاز خود با شبکه‌ی بزرگی از تأمین‌کننده‌ها در سراسر دنیا ارتباط برقرار کند؛ تعداد این شرکت‌ها اکنون به ۵۰۰۰ می‌رسد.

سال ۱۹۹۵ بود که ASML سرانجام به شرکت سهامی عام تبدیل شد و فیلیپس تمام سهام خود را در این شرکت فروخت. کمی بعد، ASML تمام آینده‌ی خود را روی توسعه لیتوگرافی EUV شرط‌بندی کرد و قید توسعه‌ی فناوری‌های دیگر را زد. درحالی‌که سازندگان مطرح تراشه برای استفاده از EUVهای این شرکت هلندی برای سال ۲۰۰۷ برنامه‌ریزی کرده بودند، هم آن‌ها و هم سهام‌داران ASML بارها ناامید شدند، چون این شرکت متوجه شد کار با نور EUV به‌شدت دشوار و رفع مشکلات آن فرایندی بسیار وقت‌گیر است. درنهایت، نمونه‌‌ی اولیه این دستگاه‌ها برای آزمایش در سال ۲۰۰۶ به مؤسسه تحقیقاتی IMEC بلژیک فرستاده شد؛ اما مشتریان تجاری تا سال ۲۰۱۸ موفق به استفاده از این تکنولوژی نشدند.

ASML چگونه بر صنعت تراشه چیره شد

تا اوایل دهه‌ی ۲۰۰۰، تنها رقبای باقی‌مانده در حوزه‌ی ساخت دستگاه‌های لیتوگرافی کانن و نیکون بودند و آن‌ها نیز به گفته ون هوت، حرف زیادی برای گفتن نداشتند و دستگاه‌های ASML «به‌مراتب سریع‌تر بودند.»

با فراگیر شدن اینترنت و ورود دستگاه‌های مصرفی جدید از جمله دوربین‌های دیجیتال، فلش مموری و پخش‌کننده‌های MP3 به بازار که همگی به تراشه نیاز داشتند، ASML تصمیم گرفت دست به ریسک بزرگی بزند و به جای آنکه روی تحقیق و توسعه چندین تکنولوژی مرتبط با لیتوگرافی نوری کار کند، تمام تمرکز و بودجه‌اش را روی توسعه EUV بگذارد.

تا چند وقت، این تصمیم چندان هوشمندانه به‌نظر نمی‌رسید. پیشرفت در توسعه فناوری EUV به‌کندی صورت می‌گرفت و با چالش‌هایش زیادی رو‌به‌رو بود. درواقع، چیرگی ASML بر صنعت تراشه پدیده‌ی نسبتاً جدیدی است؛‌ چراکه تا یک دهه پیش، توانایی این شرکت به ادامه تحقیق و توسعه EUV به سرمایه‌گذاری مشتریان خود از جمله اینتل، سامسونگ و TSMC بستگی داشت.

پیتر ونیک، مدیرعامل ASML که سال ۱۹۹۹ به این شرکت ملحق شد، در این رابطه گفت:

ما پولش را نداشتیم. برای همین رفتیم برای خودمان شرکایی پیدا کنیم و همین کار اساس راه‌اندازی ASML شد. کمبود منابع مالی مجبورمان کرد هم سیستم جدیدی را طراحی کنیم و هم شرکت‌های دیگر را در این سیستم ادغام کنیم.

ASML در ده سال گذشته در مجموع ۱۴۰ دستگاه EUV به مشتریان خود فروخته که هر یک از آن‌ها به گفته‌ی ونیک تا ۲۰۰ میلیون دلار قیمت دارند. برچسب قیمتی دستگاه نسل بعدی این شرکت موسوم به High NA که قرار است برای اولین بار به دست اینتل برسد، بیش از ۳۰۰ میلیون دلار خواهد بود. درواقع، قیمت این دستگاه‌ها به حدی گران است که اکثر شرکت‌ها از پس تولید یا حتی خرید آن‌ها برنمی‌آیند و در چند سال اخیر، رقبای زیادی را از بازار تراشه‌های پیشرفته حذف کرده است؛ از جمله شرکت گلوبال فاندریز که چند سال پیش تصمیم گرفت به‌خاطر هزینه‌های بالا، کار روی تراشه‌های پیشرفته را متوقف کند.

امروزه، ASML این دستگاه‌ها را تنها به ۵ تراشه‌ساز می‌فروشد؛ سه شرکت مطرح، TSMC، سامسونگ و اینتل هستند که ۸۴ درصد کل آمار فروش ASML را در سال ۲۰۲۱ تشکیل می‌دادند. شرکت تایوانی TSMC در سال ۲۰۱۹ اولین تراشه‌سازی بود که توانست با فناوری EUV تراشه در حجم بالا تولید کند و درحالی‌که فرایند ساخت تراشه‌اش حداقل یک گره از سامسونگ و اینتل جلوتر است، موفق شده از آن زمان تاکنون در این زمینه پیشتاز باشد.

درواقع می‌توان گفت سه تولیدکننده تراشه پیشرو در جهان، یعنی TSMC، اینتل و سامسونگ به همان‌ اندازه به دستگاه‌های لیتوگرافی ASML وابسته‌اند که کل صنعت تکنولوژی به تراشه‌های آن‌ها. عملکرد ASML نیز نشان‌دهنده‌ی افزایش این وابستگی است. با وجود رکود در تجارت محصولات نیمه‌هادی و کمبود تراشه، درآمد این شرکت در سال ۲۰۱۹ با ۸ درصد رشد به ۱۳٫۲ میلیارد دلار رسید و ارزش سهام آن از سال ۲۰۱۸ تاکنون بیش از ۳۴۰ درصد افزایش یافته و این شرکت را از مطرح‌ترین مشتریانش نظیر اینتل ارزشمندتر کرده است. اگرچه دستگاه‌های EUV تنها ۲۶ واحد از کل دستگاه‌های لیتوگرافی فروخته‌شده توسط این شرکت در سال ۲۰۱۹ را تشکیل می‌دهند، یک‌سوم درآمد آن سال ASML حاصل از فروش همین ۲۶ دستگاه بود. این شرکت انتظار دارد با روی آوردن سایر تراشه‌سازان به استفاده از دستگاه‌های EUV، این میزان تا سال ۲۰۲۵ به سه‌چهارم افزایش یابد.

ازآنجاکه نه کانن و نه نیکون به‌دنبال دستیابی به فناوری EUV نیستند، سرمایه‌گذاران به این نتیجه رسیده‌اند که ASML تا مدت‌ها از انحصار خود در صنعت تراشه‌سازی بهره خواهد برد. از سال ۲۰۱۰ تاکنون، ارزش بازار این شرکت ۲۰ برابر شده و به حدود ۲۳۰٫۵ میلیارد دلار رسیده که از ایرباس، مایکروسافت یا بِ‌اِم‌وِ بیشتر است. ASML همچنین پیش‌بینی می‌کند در سال ۲۰۲۰ به رشد ۲۰ درصدی در فروش دست پیدا کند و درآمد سالانه‌اش تا پایان این دهه ۱۱ درصد افزایش یابد.

اگرچه ارزش سهام ASML همراه با سایرین به‌خاطر پیامدهای همه‌گیری کرونا اندکی افت داشته، چشم‌انداز رشد این شرکت در بلند‌مدت به درخشندگی دیوارهای سفید اتاق‌هایی است که دستگا‌ه‌های EUV در آنجا متولد می‌شوند.

آیا ASML می‌تواند مونوپولی خود را بر صنعت تراشه حفظ کند؟

زمانی که ASML تصمیم گرفت تمام بودجه و وقت خود را صرف تحقیق درباره‌ی فناوری EUV کند و قید سایر تکنولوژی‌های احتمالی را بزند، هیچ‌یک از شرکت‌های آمریکایی آن زمان حاضر به ورود به این حوزه‌ی پرهزینه و پرریسک نشدند. ریسک بزرگی که ASML انجام داد تا حالا به یکه‌تاز حوزه‌ی تجهیزات پیشرفته‌ی ساخت تراشه تبدیل شود، یادآور ریسک شرکت تایوانی TSMC برای پذیرش مدل فاندری است. پیش از تبدیل‌شدن این شرکت تایوانی به غول دنیای تراشه، هیچ‌یک از شرکت‌های نیمه‌هادی به پذیرش مدل فاندری تمایلی نداشتند؛‌ چراکه ورود به این حوزه ریسک بزرگی به‌شمار می‌رفت و اعتقاد بر این بود که سود تراشه‌های کامپیوتری از طراحی و فروش آن‌ها به‌دست می‌آید، نه از ساخت آن‌ها. هم ASML و هم TSMC نشان دادند برای بهترین شدن باید در زمان درست، دست به ریسک بزرگی زد و حالا هر دو به جایی رسیده‌اند که هیچ شرکت دیگری به این زودی‌ها به گرد پای آن‌ها نخواهد رسید.

ASML حالا به‌اندازه‌ی شرکت TSMC برای کل اکوسیستم نیمه‌هادی دنیا بی‌نهایت حیاتی است. تولید هر تراشه پیشرفته از ۵ نانومتر به بعد تا مدت‌ها به تجهیزات ASML وابسته خواهد بود. تحلیلگران معتقدند حدود یک دهه و میلیاردها دلار هزینه لازم است تا شرکت دیگری بتواند در این حوزه با ASML وارد رقابت شود. هم به دلیل تکنولوژی اختصاصی ASML و هم به خاطر قراردادهای پیچیده و انحصاری که این شرکت با صدها تأمین‌کننده بسته است. یکی از روش‌هایی که ASML برای محافظت از کسب‌وکار خود دربرابر ریسک‌های زنجیره تأمین به کار بسته، تصاحب برخی از تأمین‌کننده‌هایش بوده است؛ از جمله شرکت Cymer در سن دیگو که منبع نور دستگاه‌های EUV را تأمین می‌کند.

علاوه‌براین، فناوری EUV تازه در ابتدای راه قرار دارد و هنوز مانده تا شرکت‌ها از این دستگا‌ه‌ها برای تولید تراشه در مقیاس انبوه استفاده کنند. درست است که تا امروز با استفاده از این دستگاه‌ها صدها میلیون تراشه تولید شده است، اما اکثر مشتریان کلیدی ASML تازه به استفاده‌ی جدی از آن‌ها روی آورده‌اند. برای مثال، شرکت اینتل طی قراردادی انحصاری و بسیار گران‌قیمت، قرار است در سال ۲۰۲۵ نسل بعدی دستگاه‌های EUV موسوم به High NA را دریافت کند که برای چاپ طرح‌های خاص‌تر و دقیق‌تری روی سیلیکون به کار می‌رود.

مارک لوندستروم، استاد دانشگاه پردو که در دهه‌ی ۱۹۷۰ کار در صنعت تراشه را شروع کرد، حضورش در اولین کنفرانس ریزتراشه در سال ۱۹۷۵ را به یاد می‌آورد. «شخصی به اسم گوردون مور را به خاطر می‌آورم که در این کنفرانس صحبت کرد. مور در حوزه‌ی فعالیتش آدم شناخته‌شده‌ای بود، اما فراتر از آن کسی او را نمی‌شناخت. یادم می‌آید که گفت ما به‌زودی قادر خواهیم بود ۱۰ هزار ترانزیستور را روی تراشه قرار دهیم. اما اصلا آدم با ۱۰ هزار ترانزیستور روی تراشه می‌خواهد چه کند؟»

البته این روزها تعداد ترانزیستورها به لطف دستگاه‌های EUV و پیشتازی TSMC به چندین میلیارد رسیده است؛ اما اگر زمانی پیشرفت تکنولوژی از پایبندی به قانون مور بازماند، جای نگرانی نیست. خود ASML نیز فکر نمی‌کند سرعت پیشرفتی که برپایه‌ی دستگاه‌هایش شروع شده قرار است به این زودی‌ها کاهش یابد. مارتین ون دن برینک،‌ مدیر ارشد فناوری ASML می‌گوید: «من دوست ندارم درباره‌ی پایان قانون مور صحبت کنم. درعوض، دوست دارم درباره‌ی توهّم قانون مور حرف بزنم.»

به گفته ون دن برینک، مقاله‌ی مور که در سال ۱۹۶۵ منتشر شد، در واقع بیشتر روی پیشرفت نوآوری تمرکز داشت تا کوچک شدن قطعات روی تراشه‌ها. درحالی‌که او انتظار دارد دستگاه‌های High NA EUV تا ده سال آینده صنعت تراشه را در مسیر پیشرفت کنونی و پایبند به قانون مور نگه دارند، او بر این باور است که در آینده، کوچک کردن قطعات تراشه به کمک لیتوگرافی کم‌اهمیت‌تر خواهد شد. ون دن برینک می‌گوید اگر به جایی برسیم که دیگر تراشه‌ها نتوانند از آنچه هستند، سریع‌تر شوند، آن‌وقت پیشرفت در جای دیگری صورت می‌گیرد؛ مثلاً تراشه‌ها ارزان‌تر می‌شوند یا کاربرد آن‌ها بیشتر می‌شود.

او همچنین اضافه می‌کند که ترفند‌هایی که در ساخت تراشه به کار می‌روند، مثلاً قرار دادن عمودی اجزا روی تراشه، کاری که اینتل و شرکت‌های دیگر در حال انجام آن هستند، به بهبود عملکرد تراشه منجر خواهد شد. مارک لیو، مدیر اجرایی TSMC نیز می‌گوید تا بیست سال آینده، هر سال عملکرد و کارایی تراشه‌ها سه برابر خواهد شد.